早在1738年,一名叫丹尼爾.伯努利的人,應用伯努利方程為基礎利用差壓法測量水流量。后來一名叫G.B.文丘里的人研究用文丘里管測量流量,并在1791年發(fā)表了研究結果。
1886年,一名叫赫謝爾的人,應用文丘里管制成了測量水流量的的實用測量裝置。
20世紀初、中期,原來的測量原理逐漸走向成熟,人們不再將思路局限在原有的測量方法上,而是開始了新的探索。
到了30年代,又出現(xiàn)了探討用聲波測量液體和氣體的流速的方法聲波測量流量的方法,但到次世界大戰(zhàn)為止未獲得很大進展,一直到1955年才有了應用聲循環(huán)法的馬克森流量計的問世,用于測量航空燃料的流量。
20世紀60年代以后,測量儀表開始向化、小型化等方向發(fā)展。隨著集成電路技術的迅速發(fā)展,具有鎖相環(huán)路技術的超聲(波)流量計也得到了普遍應用,微型計算機的廣泛應用,進一步提高了流量測量的能力,如激光多普勒流速計應用微型計算機后,可處理較為復雜的信號。